半導体洗浄装置 半導体洗浄装置.homepage.jp HOME

大日本スクリーン製造株式会社は京都に本社がある、半導体・液晶製造装置、印刷関連機器などを取り扱う産業用機器メーカーです。半導体洗浄装置や、パソコン、液晶テレビの液晶ディスプレー製造用の大型ガラス基板対応装置、印刷版出力装置においては世界トップシェアを持っています。

http://www.screen.co.jp/

アウトガスとは、クリーンルーム内で使用される材料・電子部品、部品用トレー・キャリアなどやクリーンルームの構成材のことをいいます。
他にも、クリーンルーム用の装置・機器において使用されている素材や材料が周囲の環境変化によってそれ自身が変質し、その一部がガスとして外部へ放出される状態のことも指します。

半導体は極めて微細な回路を集積したものであり、埃やチリのような微細な汚れによって、致命的なダメージを負うこともあります。ウェーハは半導体デバイスを作りこんでいくものであり、これがクリーンルーム内に入ってから完成するまで、それぞれの工程の前後に塩酸、純水、フッ酸、アンモニア水、硫酸等で洗浄され、表面に付着したゴミや汚れが除去されます。これに使われるのが半導体洗浄装置です。

半導体洗浄装置には、窒化膜除去装置、レジスト剥離装置、各種洗浄装置、酸化膜エッチング装置、RCA洗浄装置、各種エッチング装置、拡散前洗浄装置、リフトオフ装置など、様々な種類の物があります。